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石墨热场日常维护方法
热场是真空电阻炉的核心部分,其质量直接影响到炉子的性能和运行成本。热场的设计是多种多样的,设计方案的具体选择主要基于工艺流程的具体分析。大多数真空电阻炉的热场由四个主要部分组成:加热器及其连接部件、隔热部件(或反射屏)、热场支撑部件、工件承载炉膛。由于材料问题或使用时间问题,这些配件经常需要定期更换。那么石墨热场配件在什么情况下需要更换和清洗呢?
1.检查石墨配件有无裂纹,特别是石墨坩埚、石墨托盘、石墨坩埚杆。如有裂纹,立即向车间主管汇报,并进行更换。做出判断或者向有硅的车间老板汇报。班组长负责5台炉在预计使用寿命前使用前的检查和审核。车间主管负责在预期使用寿命之前的5次加热后进行检查和评审。
2.石墨配件使用寿命到期后,石墨配件(石墨托盘、坩埚杆、石墨坩埚)等因超期使用可能造成重大损失的部件应先拆下,换上新的。更换的石墨配件应密封,经单晶车间、技术部、生产部共同审查后再进行加工。其他配件如加热器、保温管、尾水管等应仔细检查,看是否有微小的裂纹和缺陷。原则上,这些石墨配件可以连续使用,不会出现上述缺陷。对于带有阴燃炉的石墨热场配件,应做详细记录。
3.做好石墨热场配件的详细记录,以防意外。有问题的石墨配件应详细记录并分类放在指定的地方,以防混淆。
4.原则上,如果使用寿命已到更换期,就需要更换(或者由有经验的人鉴定,决定是否继续使用)。对尚未达到使用年限,暂时不使用的,要用塑料袋密封,用纸箱包装,标明炉号、炉号、更换原因、来源和日期,妥善保管。
5.对于部分损坏的(如三瓣碎、一瓣碎),可以一起使用或更换(对于只有几炉的新三瓣坩埚,由车间主管决定是否使用;能使用的和能一起使用的,能使用但暂时不用的,封存保管)。建议在净化炉中使用密封的产品,以便重复使用。
6.每次开炉时,清理热场氧化物,并清理石墨片上的渗硅。引流管和隔热罩应仔细擦拭干净,以免杂物造成原料事故。取石墨片时,除了注意人身安全外,还要小心轻放,注意石墨片的安全。
7、严格按照操作规程进行加热、熔化、重熔、停炉等操作。,以保护石墨部件。每炉拆下后,应仔细清洗石墨配件,仔细检查籽晶和每个石墨热场配件的情况,并做好详细记录。