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加热电源故障

1、水压，当水压低于0.15MPa时，压力表报警。

2.接地故障。

3.对于真空放电，水冷电极与加热器的连接处必须连接牢固，最好与反射器绝缘。

4.如果炉内压力在13.3-66.5Pa(这个真空度容易放电)。停电和断电的原因可以认为是介质击穿引起的放电。

停止充气(氩气或氮气)。

1.开始抽真空前，请确认充气时间长或无法充气时，气体管道是否堵塞。

2.如果气路没有问题，检查电磁阀和充气阀的动作。为了安全起见，在检查之前，应停止所有与之相关的设备。

3.当充入真空室的空气无法停止时，当泄压阀动作时，所有气体系统包括供气阀和管道都应关闭。

4.确认充气管是否漏气，漏气会影响产品质量。

6真空室压力恶化

1.当真空排气时间比平时长时，应停止设备进行检查。根据真空室中的结构在不同状态下收缩的影响，压力也可能升高。

2.通过压力上升试验或氦泄漏检测确认漏气和放气的影响。

在真空和保护气氛中，金属、陶瓷和一些难熔金属中间化合物粉末被加热和烧结。为了获得具有一定密度和机械性能的材料，一般采用两种工艺。即加压烧结和无压烧结。压力烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护气氛下的高碳模具中，然后高温加热至软化状态，压制成型。这一过程只能通过真空热压烧结来实现。烧结炉具有高温、高真空、高热压的特点。目前这种炉型在国内还没有见到定型产品。

压缩空气停止

1、压缩空气异常报警，设备停止运转，应尽快去备用压缩机房，让其恢复工作。

2.如果真空中的压缩空气异常报警，并且需要很长时间才能恢复，则停止真空并停止设备。

真空烧结炉主要用于半导体元件和功率整流器件的烧结过程。它可用于真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。它是特种半导体设备系列中的一种新型工艺设备。设计理念新颖，操作方便，结构紧凑，可在一台设备上完成多种工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。下面，边肖将为您介绍真空烧结炉的应急措施。

高真空烧结炉冷却水异常

1.确认加热电源已经停止。

2.如果炉外漏水，冷却水量异常，应尽快采取应急措施。如果能保证水量，请保持真空。如果不能采取紧急措施，保持原样，并确认设备冷却。

3.当冷却水出现异常时，设备停止运行，并立即接通应急冷却水。

4.当温度较高时(超过200℃视为高温)，如果停止冷却水，如果不能紧急送水，可能会损坏水冷电极、热交换器、真空室外壳和泵。

停电；灯火管制

1.停电时，如果断水，应立即接通备用冷却水，并接通水源。

2.如果在非加热、加热和冷却期间能尽快恢复，重新启动设备。如果需要长时间继续运行，请保持设备原样。

3.如果在加热和冷却过程中可以尽快恢复，重新启动设备。如果需要很长时间，就保持原样，让设备自然冷却。