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真空炉中真空淬火炉的主要结构部件，影响设备安全的炉壳、炉门、齿圈等结构部件。由于真空空气淬火炉正压负压重复使用的特殊性，为了保证设备的安全性，实现设备的经济性，采用计算法和图形校核法对炉壳和齿圈进行了理论计算，并采用有限元分析方法对结构进行了安全性分析。通过力学模型，优化设计结构中的薄弱环节，满足结构安全的要求。

真空淬火有两种:气体淬火和液体淬火。气体淬火是将工件在真空中加热，然后在冷却室中充入高纯中性气体(如氮气)进行冷却。适用于气体淬火的是马氏体临界冷却速率低的材料，例如高速钢、高碳和高铬钢。液体淬火是指工件在加热室加热后，移至冷却室，充入高纯氮气，立即送入淬火油箱快速冷却。如果要求高表面质量，真空淬火和固溶热处理后的回火和沉淀硬化仍应在真空炉中进行。
真空淬火炉:真空淬火炉可分为真空油淬炉和真空空气淬火炉。
真空回火炉:真空回火炉可分为单室、双室、立式等。一般用镍铬带加热，最高温度800℃。一般采用真空回火炉，要求回火零件表面光亮无氧化色。
真空退火炉:真空退火炉可分为单室、双室和立式。真空退火炉可根据零件材料选择中高温和低温(中高温800℃ ~ 1350℃，低温800℃)。
油淬炉适用于模具钢、弹簧钢、不锈钢、轴承钢、高温合金钢等的真空热处理。其主要特点是适用材料广，淬透性强，成本低，淬火油可重复使用。缺点是:变形比较大，工件需要后期清理。油淬炉在结构上可分为两室炉和三室炉。
真空气淬炉适用于一些淬透性好的材料的真空热处理，如高速钢、不锈钢、模具钢等。其特点是零件变形小，热处理后无需清洗。缺点是急冷气不能回收，成本高。真空气淬炉在结构上可分为卧式和立式。卧式可分为单人房、双人房和三人间。立式适用于环形、圆柱形和长杆形零件的热处理。高压气淬炉的淬火压力一般为2bar ~ 10b ar。根据用户的需要，可以选择零件适合压力的炉型。