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真空炉在真空状态下进行热处理。在加热过程中,工件表面被氧化和脱碳,可获得无变质层的洁净表面。但是,很多用户在购买了设备之后,确实不知道使用什么样的操作步骤,以至于设备可能达不到预期的使用效果。
真空炉的正确操作过程总结如下:
1.打开烤箱门,充电。关闭炉门,确保炉封完好无损。
2.检查真空炉的手动真空阀,确保它们已关闭。
3.打开主电源控制显示屏。
4.打开水冷器电源,在水冷器界面输入所需水温,启动水冷系统(详见水冷器使用说明书)。
5.打开旋转叶片泵上的排气口,以确保气体循环。(旋片泵使用后,密封排气孔,防止杂物进入旋片泵)确保扩散泵和旋片泵的阀门关闭。
6.在触摸屏操作界面上启动旋片泵和扩散泵。
7.慢慢旋转打开旋片泵阀,以免气量过大导致排气口喷油。
8.旋片泵和扩散泵运行约1小时后,真空表右侧显示小于100Pa,关闭旋片泵阀门,打开扩散泵阀门。
9.在真空计显示屏上达到所需的真空度后,关闭真空泵,然后开始加热。(真空泵组停机过程:先关闭扩散泵阀→停扩散泵→40分钟后停旋片泵)或抽真空时加热。
10.在加热操作界面输入所需的工艺要求,开始加热。
11.升温程序停止后,(如果在加入过程中抽真空,待真空炉炉温降至适合工艺的温度后,关闭真空泵组,关闭过程同上)只有当扩散泵温度降至可触及的温度时,才能关闭水冷器。
12.当真空炉温度降至室温时,打开空气阀,等待炉内压力达到大气压。
13.打开炉门,取出材料。
14.取出材料后,清洁真空炉的内部。长时间不用时,保持炉门关闭,炉内保持真空状态。
真空炉无论是在使用中还是完工后都要按照正确的步骤进行。同时要注意设备的清洁,确保设备能保持稳定运行,有效延长其使用寿命。