半导体用石墨粉有什么使用要求?
2023年09月16日
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石墨粉
在半导体制作过程中,会增加石墨粉以进步功能。
半导体用石墨粉的要求:
1、纯度规则
半导体行业对石墨粉质料有很高的规则,尤其是两者之间接触的石墨器材,假如杂质过多会污染质料。因此,除了严格管理石墨质料的纯度外,还必须经过高温将灰度降到最低。
2、粒度分布规则
半导体工业级石墨质料要求粒度细,粒度细的石墨极易生产加工精度高,而且高温抗压强度高,耐磨性好和撕小。
3、耐热性规则
半导体工业生产石墨器材,大部分需求接连加热和冷却,为了进步器材的使用寿命,石墨粉必须具有优良的高温可靠性和抗高温冲击功能。
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