石墨舟情况对表层的镀膜匀称性的危害是什么？

      将新石墨舟及运用超越三年的旧石墨舟饱满后进行PECVD表面的表层的镀膜。新石墨舟表层平整度好，石墨舟片导电性一致，塑料膜分子式能够均匀地堆积在单晶硅片表层，片间均匀性更高品质。
       新石墨舟饱满后在堆积时仍有一部分等离子体在石墨舟上边堆积，运行次数小于三十次时，随着着运行次数的进步，石墨舟上边堆积的等离子体下降，片间均匀性越佳。运行次数超出三十次后，随着着运用次数的进步，石墨舟片内壁与单晶硅片碰触边际处塑料膜变厚，电场反而强劲，形成许多的低温等离子体堆积，易出現不一样水准的边际发白情况，导致片间均匀性数次下降。