为什么石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用?
2023年10月30日
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石墨热场
直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶成长保持在一定温度下进行的整个系统。
石墨热场一般包括(石墨资料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
21世纪,越来越多的用户开始注意到石墨资料,石墨具有耐高温、导电、导热性杰出、润滑性等主要特点,抗热震性等在新能源引领未来的时代,石墨热场以及部件在单晶硅的制作中起着要害的载体作用。
在真空炉中石墨热场是决议单晶硅好坏的决议要素,通过对石墨热场的了解,决议热场石墨组件的好坏的要素有很多,其间石墨原资料的挑选和加工工艺上非常要害
由于单晶炉石墨热场大多是采用等静压石墨来加工,关于石墨制品加工企业来说石墨资料要比加工工艺所占的比重大一些,那么提高石墨热场的利用率是石墨制品加工企业都要考虑的问题,因此在报价给看客户报价的时分除了考虑石墨原资料理化目标,更多的还要考虑石墨热场的寿命
清炉是个技术活,清炉不到位,将影响到单晶的正常成长,轻者,无法正常成长单晶,重者,将会导致停炉,大家在整理单晶炉中应该注意到几点:
1、尽量将喷溅到石墨部件上的硅滴去除,劣化严峻的石墨件要向主任陈述及时更换。
2、用刷子和吸尘器整理各种石墨件,一定要注意整理管道的重要性。
3、石墨件要轻拿轻放,防止石墨件受损。
4、整理洁净的石墨件,应放在洁净的不锈钢推车上,防止二次污染。
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