耐腐蚀蓝宝石烧结炉石墨发热体 单晶炉铸锭石墨加热器厂家 多晶硅石墨热场加工

    一种高频感应单晶炉热场，包括炉体，炉体上部设有籽晶棒，炉体底端设有坩埚支撑杆，坩埚支撑杆顶端伸入炉体内并与坩埚托盘固定连接，坩埚托盘顶端设有石墨坩埚， 石墨坩埚内装有石英砂，石英砂顶端装有应时坩埚，应时坩埚位于籽晶棒的正下方。 石墨坩埚的外围被感应线圈包围；炉体的顶部内壁对称固定有一个气缸I，气缸一的输出端均与支撑板固定连接；支撑板远离籽晶棒一侧的底端固定安装有气缸II；气缸二的输出端均与连杆固定连接；连杆的另一端均与盖体固定连接。