多晶炉石墨加热器定制 石墨发热体电阻炉加工厂 耐高温单晶炉热场石墨件 抗氧化石墨热场导流筒

    一种高频感应单晶炉热场，包括炉体1，炉体1的上部设有籽晶棒2，底部设有坩埚支撑杆3，坩埚支撑杆3的顶部伸入炉体1内并与坩埚托盘4固定连接，坩埚托盘4的顶部设有装有石英砂的石墨坩埚5，坩埚托盘4的顶部设有应时坩埚6。应时坩埚6位于籽晶棒2的正下方，石墨坩埚5的四周环绕有感应线圈7，炉体1的顶部内壁对称固定有气缸1 8，气缸1 8的输出端均固定连接有支撑板9， 支撑板9远离籽晶棒2一侧的底端固定有气缸2 10，气缸2 10的输出端均与连杆11固定连接，连杆11的另一端均与连杆11固定连接。