石墨坩埚为什么会断裂?
2022年10月20日
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石墨坩埚
1.运输、装卸不当。装卸主要在运输过程中,与各种热场厂家和物流公司的包装有关。但是现在大部分都选择自己送货,这样的原因在逐渐减少。拆卸主要是在拉晶过程中,尤其是新手拆炉的情况会偶有发生。
2.设计缺陷。因为这个原因,石墨坩埚的断口一般在R部分与上坩埚的交界处,一般横向断口,一般两边断口低中间高;如果都是拆分后再拼接在一起,可以明显发现两端的拼接处不能重叠。真正的原因是使用后,坩埚上部均匀壁厚和下部逐渐增厚部分的应力集中在这部分,产生应力集中,最终导致石墨坩埚断裂。
3.原材料缺陷。由于石墨坩埚本身的物理性质,主要是导热和热膨胀两方面的原因,石墨坩埚在快冷快热的情况下容易产生应力且不易消除;此外,在石墨生产过程中,石墨的压制、浸渍、焙烧、石墨化和提纯需要很长时间,因此不容易监测和检查。虽然整体性能比较统一,但是同一块石墨内部各部分还是存在一定的差异,这就从根本上决定了会存在一定的问题。
4.使用不当。这主要是在冷却和拆炉期间。拉晶时,用户会有缩短加热时间、冷却时间和拆炉时间的想法。提高生产效率无可厚非。但是,需要考虑石墨是否能承受这种冷却速度。当石墨的温度升高时,它的强度会增加,换句话说,当温度降低时,它的强度会降低。如果温度下降过快,外壁和内壁温差产生的应力超过石墨坩埚所能承受的范围,就要考虑这一点。
5.加工缺陷。这种原因造成的石墨坩埚断裂,通常是从接缝处开裂,然后蔓延。它通常垂直分裂。这种问题发生后很容易发现,因为太明显了。产生这类问题的主要原因是接头的过渡角(一般为105°或115°)在交点处,圆角没有起到缓冲作用,加工过程中刀尖引起的坩埚本体微撕裂和使用过程中坩埚本身的应力造成开裂。
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