单晶石墨热场各部件使用说明
1、对发生事故的石墨热场附件进行详细记录。 小编提醒大家,有问题的石墨配件要详细记录,放在指定的地方,防止混淆。
2、检查石墨配件有无裂纹,特别是石墨坩埚、石墨盘、石墨坩埚棒有无裂纹。 如有裂纹,应立即报告车间主管并进行更换。 有硅主机的地方要判断或向车间报告。 在5台炉子使用到预期使用寿命之前,班长负责检查和审查。 车间主管负责在预期使用寿命前的5炉后进行检查和审查。
3、严格按照操作规程进行升温、化学、回熔、停炉等操作,保护石墨部件。 每台炉子拆除后,应仔细清洗石墨配件,仔细检查晶种和各石墨热场配件的状况,并做好详细记录。
石墨热场是真空电阻炉的核心部分,其质量直接影响炉子的性能和运行成本。 热场的设计是多种多样的,具体选择哪种设计方案主要是根据工艺流程的具体分析。 大多数真空电阻炉的热场由四个主要组成部分组成:加热器及其连接部分、隔热部分(或反射屏)、热场支撑部分和工件承载炉膛。 这些配件往往因为材质问题或使用时间问题需要定期更换。 那么,石墨热场配件在什么情况下需要更换,在什么情况下需要清洗呢?
4、石墨配件使用期限届满后,应先将逾期使用可能造成重大损失的石墨配件(石墨盘、坩埚棒、石墨坩埚)等部件拆下更换新产品,更换后的石墨配件将 被密封和单晶车间、技术部和生产部在加工前会进行联合审查。 其他配件如加热器、保温筒、导流筒等应仔细检查,看是否有微小的裂纹和缺陷。 原则上,这些石墨部件如果没有这些缺陷,可以继续使用。 . 对有闷炉的石墨热场附件应作详细记录。
5、部分损坏(如三叶之一坏)且使用寿命未满的,可以使用或更换(对于只有几炉的新三叶锅,车间 由主管决定是否使用,如果可以凑成一套,可以用的可以收起来存放,但暂时不用)。 建议密封保存后在净化炉上使用,以备重复使用。
6、拆炉时,清理热场的氧化物,清理石墨件上渗硅。 导管和保温罩应仔细擦拭干净,以免发生杂物污染原料的事故。 取石墨件,除了注意人身安全外,还要轻拿轻放,注意石墨件的安全
7. 使用寿命已到更换期的,原则上需要更换(或让有经验的人识别,再决定是否继续使用)。 对使用寿命结束前未更换、暂不使用的,应密封在塑料袋中,装入纸箱包装,并注明炉号、炉数、更换原因 、来源和日期,并妥善保存。