石墨制品在半导体行业发展的怎么样?
1.石墨制品太阳能电池应用市场概述
在生产多晶硅锭的设备中,许多部件是石墨材料。特别是高纯石墨、铸锭炉加热器所用的加热材料以及所用的高纯碳毡绝缘材料,是目前多晶硅铸锭设备不可缺少的重要支撑材料。
2.石墨制品半导体应用市场概述
直拉单晶炉用石墨零件是一种易耗件,由各种高纯石墨制成。如石墨坩埚等石墨部件采用高纯细晶石墨;石墨加热器采用高纯各向同性石墨;隔热罩和石墨罩采用高纯度中颗粒结构的石墨。
由于铸锭炉加热器的加热温度很高(1600℃以上),要求其加热材料不能与硅材料发生反应和污染硅材料,因此可以在真空和惰性气氛下长期使用。满足使用条件的加热器有钨、钼、非金属石墨等。钨和钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可以加工成各种形状。此外,石墨具有热惯性小、升温快、耐高温、抗热震性好、辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等特点。正因为如此,石墨已经成为铸锭炉加热器的首选加热材料。铸锭炉加热器对隔热材料有严格的要求。必须是耐高温、低密度、低导热、低蓄热、隔热效果好、低气体释放、重量轻、低膨胀系数的材料。因此,在众多耐火隔热材料中,高纯碳毡是最理想的。
3.应用市场发展和扩大的过程
半导体的发展离不开石墨材料在半导体工业中的应用。在半导体工业中,高纯石墨材料广泛应用于直拉单晶炉的加热系统中。也用作半导体硅片加工(包括区熔、外延、轮廓加工等)中的辅助工具和部件。);是半导体硅片多晶硅材料生产中的辅助工具和部件。电子工程用石墨制品,首先是实现其在半导体行业的应用。进入21世纪,光伏产业发展迅速,太阳能电池用多晶硅锭材料的产量和市场都有了突飞猛进的增长,这也为石墨制品在光伏产业领域提供了具有广阔发展前景的新市场。太阳能电池硅片的重要原料多晶硅锭开始在其生产设备铸锭炉中大量使用高纯优质石墨材料。