进口石墨管正确安装步骤是怎么样的？

    石墨管按护模设计准确装入炉内。 合上盖子，启动真空机械泵排气，待炉内真空度低于1mmHg后开始升温。 提高到所需的沉积温度约 1 小时，然后按以下比例通入氮气和丙烷气：感应炉为 2:1，碳管炉为 5:1。 必须保证气体均匀地通过石墨管的内外表面。 沉积时间的长短取决于涂层厚度要求。 在整个沉积过程中，机械泵一直在工作，在加入新鲜丙烷气的同时，热解气体产物通过除尘器排出炉外。 当达到所需的沉积时间时，停止原料气的供应，切断电源，关闭机械泵的阀门，停止排气。 但炉内仍保持负压，自然冷却后放炉。