石墨热场配件损坏的原因有哪些?
2022年11月04日
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石墨热场
目前单晶硅厂家使用的石墨热场是相当成功的。第一,由于石墨毡是绝缘的,总厚度在100MM以上,保证了径向温度梯度尽可能小的条件。二是由于热场较大,使用的坩埚一般在250MM以上,这样保温罩和盖的直径也较大,具有足够的纵向散热功能,保证了晶体纵向温度梯度足够大的条件,加强了托碗底部的保温效果。保证了熔体中纵向温度梯度相对较大的条件。这种热场结晶速率高,有利于单晶自始至终的无位错生长,无需过度调节。区别在于产量和节能效果不同。但这些指标往往与设备良率、管理水平等综合因素有关。从热场结构看,有的加强径向保温,采用碳碳复合材料,降低能耗。
众所周知,热场的部件,如加热器、三瓣坩埚、石墨支架、隔热罩等,都是由石墨制成的。在生产过程中,经常会遇到加热装置损坏的现象。那么石墨器件损坏的原因是什么,应该采取什么措施来延长石墨器件的寿命呢?石墨器件损坏的原因主要有两个:人为和变质。只要加强管理,强化员工的防范意识,就可以把损失降到低点。
首先,我们来了解一下石墨的特性。
1.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的,所以宏观膨胀系数不大。在温度突变的情况下,石墨的体积变化不大。再加上其良好的导热性,石墨的抗热震性好。如上所述,石墨部件应该能够在高温下长时间稳定工作。
2.耐高温。石墨的熔点非常高。在真空中3850度,低压升华,升华温度2200度。与一般材料不同的是,当温度升高时,石墨不仅没有软化,反而强度增加。在2500度时,石墨的抗拉强度加倍。
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