石墨热场行业标准

1.石墨制品半导体应用市场概述

  直拉单晶炉用石墨零件是一种易耗件，由各种高纯石墨加工而成。如石墨坩埚等石墨部件使用高纯度细颗粒石墨；石墨加热器采用高纯各向同性石墨；石墨绝缘罩和石墨盖板由高纯度、中等颗粒结构的石墨制成。  

多晶硅热场加热器 

  前面提到的半导体和光伏行业使用的两种石墨制品在几年前主要是从国外进口(或由mainland China外资企业提供)。但由于中国石墨行业、半导体材料行业和电子工业设备行业的共同努力，中国生产的这两类石墨配件在制造技术和应用技术方面都有了很大的进步，市场格局也发生了很大的变化。这也为中国石墨行业在这方面开拓新的市场提供了新的机遇。但同时也需要看到，在我国大型高纯各向同性石墨市场快速增长的同时，我们的制造技术还存在一些不适应的方面，我们的技术与国外先进国家还有较大差距。石墨制品作为微电子和光伏产业重要的基础装备材料，需要我国持续的技术进步。当务之急是加强与半导体产业和硅材料制造业对光伏电池的合作，进一步投资发展其配套的高档石墨制品。  

1.1应用市场的发展和扩张过程

  半导体的发展离不开石墨材料在半导体工业中的应用。在半导体工业中，高纯石墨材料广泛应用于直拉单晶炉的加热系统中。也用作半导体硅片加工(包括区熔、外延、形状加工等)中的辅助工具和部件。);是半导体硅片多晶硅材料生产中的辅助工具和部件。电子工程的石墨制品首先应用于半导体行业。进入21世纪，光伏产业发展迅速，太阳能电池用多晶硅锭材料的产量和市场都有了突飞猛进的增长，这也为光伏产业中的石墨制品提供了具有广阔发展前景的新市场。多晶硅锭是太阳能电池硅片的重要原料，已广泛应用于其生产设备铸锭炉中。

1.2石墨制品太阳能电池应用市场概述

  在生产多晶硅锭设备上，许多部件需要石墨材料。特别是铸锭炉加热器所用的加热材料——高纯石墨，以及所用的隔热材料——高纯碳毡隔热材料，都是目前铸锭多晶硅设备重要且必不可少的配套材料。

  由于铸锭炉加热器的加热温度很高(1600℃以上)，要求其加热材料不与硅材料发生反应，不对硅材料造成污染，因此可长期在真空和惰性气氛中使用。合适的加热器是钨、钼和非金属石墨。钨和钼价格昂贵且难以加工，而石墨来源广泛，可以加工成各种形状。此外，石墨具有热惯性小、升温快、耐高温、抗热震性好、辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等特点。正因为如此，石墨材料已经成为铸锭炉加热器的首选加热材料。铸锭炉的加热器对隔热材料有严格的要求。必须是耐高温、密度低、导热系数低、储热少、保温效果好、气体释放少、重量轻、膨胀系数小的材料。因此，在众多耐火保温材料中，高纯碳毡是最理想的。